大族激光光刻机是干什么用的

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精选答案

3000-5000纳米。大族激光光刻机是3000-5000纳米光刻机，既3-5微米。主要用于分立器件、LED基板等领域，属于接近式光刻机，光源属于第一代、第二代，436/365纳米波长的光源。