单晶炉为什么用氩气

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精选答案

因为氩气在单晶硅生产中具有重要作用,氩气是惰性气体,它作为一种保护气体包围在单晶硅 和多晶硅的液面周围,可以保护单晶硅和多晶硅不被氧化。

氩气是一种单原子气体,以原子状 态存在,在高温下没有分子分解或原子吸热的现象。氩气的比热容和热传导能力小,即本身吸 收量小,向外传热也少,所以氩气的存在还可以减少热能的散失,起到节能的作用。

不仅如此 ,由于氩气在单晶炉内是流动的,所以还可以带走硅液中的挥发物,以及高温下的其他部位 的挥发物,这样一来,就可以防止单晶硅或多晶硅液被沾污,而影响单晶硅的产品质量。另外,氩气从上而下形成均匀的层流从晶体表面掠过,可以带走结晶潜热,从而可以保证单晶硅正常生长。