光刻胶分辨率代表什么

问题描述

精选答案

光刻胶的分辨能力是一个综合指标。代表着以下几点

①曝光系统的分辨率；

②光刻胶的相对分子质量、分子平均分布、对比度与胶厚；

③显影条件与前后烘烤温度。一般较薄的胶层容易获得更高的分辨率，但是胶厚必须与光刻胶的选择比或者lift-off层厚度加以综合考虑。正胶的过曝过显和负胶的过曝欠显都会影响分辨率。烘烤温度过高，使得光刻胶软化流动也会破坏曝光图形的分辨率。