DUV光刻机是什么

问题描述

精选答案

DUV光刻机是一种用于制造微纳米结构的设备，它使用激光技术来将设计图案刻录到芯片表面，从而实现芯片的微细加工。

它通常使用深紫外线（DUV）激光，具有更精细的刻蚀分辨率，可以制造出更小的结构，比如芯片上的微型电路元件。