光源大小对像的影响

问题描述

精选答案

照明对光源有很重要的影响作用，有时候甚至不亚于成像本身。数值孔径加大，提高分辨率，也是因为同一点成像光束角度的加大，帮助提高了对比度。

对于镜头，本身视场越边缘，其照明便会根据角度余弦的四次方降低，这一点从传递函数由中间到边缘的逐渐降低也可以看出一二,当然还有其他各种像差的影响因素。

对于对照明要求更高的场合，比如光刻，其曝光的分辨率并不是说要求中心较高，边缘可以适度降低，而是中心和边缘都要达到一定的要求，光源的均匀度就会要求很高，如果均匀度降低，其成像的对比度也就下降了，会影响到最终的曝光效果