led外延片用什么设备生产

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精选答案

外延片的制备是LED芯片制造的重要环节，需要通 过MOCVD设备实现。一个LED完整发光结构通常包 含70-80层不同掺杂浓度、薄层厚度的沉积层，各 沉积层均会影响最终产品的发光特性，因此外延生长环节是LED芯片生产的重要步骤。

MOCVD (Metal-organic Chemical Vapor Deposition)即 金属有机化合物化学气相沉积工艺，是LED外延片生产的主流工艺，通过MOCVD设备实现。