至纯科技28nm是生产工艺还是光刻机

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精选答案

至纯科技28nm是生产工艺并不是光刻机。

根据媒体透露的消息，显示至纯科技已经实现了对于28nm节点的全部湿法工艺设备的认证。湿法工艺设备主要起到清洗的作用，可以有效的清洗晶圆表面的颗粒、金属离子以及一些氧化层等等，在最大程度上去除晶圆上的杂质，一般的清洗原理主要分为干式以及湿式两种，由于湿式的整体工作效率更好，因此国内超过百分90%的步骤都是源自于此，而国内的至纯科技主要就是生产清洗设备的。