光栅传感器的误差主要来自

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精选答案

在光栅测量仪器中,光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素,主要产生在光栅的刻制,传感器结构及传感器的安装等方面.本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源,并给出了相应的消误差方法,为提高传感器设计精度提供了理论依据。