euv是什么元器件

问题描述

精选答案

EUV，中文是极紫外光刻。它是光刻技术的一种。

EUV是现在最领先的光刻技术。它以波长为10~14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长一下子降到13.5纳米。这一技术能够让芯片工艺扩展到32nm以下。

EUV光刻系统有两个特点：

可精确控制光束，其精度就好比从地球上发出的手电筒光线。可以照到放置在月球上的一枚50分欧元硬币一样。

使用的镜片需极度平摊。假设你要制作一个像德国般大小的镜片，其最高凸起物必须低于1毫米高。

一套EUV光刻系统包含一个重达7600公斤的大型真空室，而一套EUV光刻系统有18万公斤重。