光源是多少纳米

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精选答案

光源最高13.5纳米。

光刻机光源目前最高为13.5纳米，是euv深紫外光光源。光刻机光源分为五代，目前使用最多的是第四代和第五代，第五代就是euv光刻机。而第四代是duv光刻机，为193纳米深紫外光光源，也叫arf光刻机光源，是目前芯片制造公司或代工厂使用量最大的一类光刻机。