mems扫描振镜原理

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MEMS扫描振镜是一种微型光学器件，其原理是利用微型振镜的振动来控制光束的方向和位置，实现光束的扫描和定位。振镜采用压电陶瓷等材料，通过施加电场来实现微小的振动，而这种振动可以被用来控制光束的偏转角度和方向。MEMS扫描振镜具有响应速度快、体积小、功耗低等特点，广泛应用于激光显示、3D成像、生物医学等领域。

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振镜的原理是：输入一个位置信号，摆动电机（振镜）就会按一定电压与角度的转换比例摆动一定角度。整个过程采用闭环反馈控制，由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大控制电路共同作用。 而数字振镜的原理则是在模拟振镜的原理上将模拟信号转换成数字信号。