质谱检漏仪的本底噪声是什么意思

问题描述

精选答案

质谱检漏仪用来检测真空腔体中几种气体分子的分压，然后换算成泄漏速率。

当气体分子到达探头时，探头采样并给出信号，经过自动换算得出分压数值。

质谱检漏仪的本底噪声主要来自探测器的本底噪声，会有内置程序对噪声进行处理，降低对测量的影响。所以对检漏的影响不大。

但当探头表面有附着物，会影响精度，所以每次使用前有个探头预热过程，消除表面附着物。

这个过程类似电离真空计的使用过程。