光刻机的波长

问题描述

精选答案

在这里，最核心的就是光源了，一切光刻机的核心零件就是围绕光源来的，所以根据光源的改进，光刻机一共可以分为5代，

分别是最早的436纳米光刻机，然而第二代是365纳米波长，第三代是248纳米，第四代是193纳米波长，第五代是13.5纳米波长的EUV光刻机。