光刻胶通俗易懂的解释

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精选答案

光刻胶是一种感光材料，由溶剂、光引发剂、光刻胶树脂、单体和其他助剂等成分组成，具有光化学敏感性。在微电子技术中，光刻胶是微细图形加工的关键材料之一，能够利用光化学反应，经过曝光、显影等光刻工艺，将所需要的微细图形从掩模版转移到待加工基片上。

根据其化学反应机理和显影原理，光刻胶可分为负性胶和正性胶两类1。