石墨盘用途

问题更新日期：2024-10-19 16:06:16

问题描述

精选答案

在外延生长领域，高纯石墨盘是必不可少的。它在外延生长中起到加热和装载半导体晶圆的作用。

目前，主流外延设备厂商配套的石墨盘在结构上基本相同，均采用在石墨盘基座上设计一个晶圆形状的浅凹槽的方式来装载晶圆。

这种设计在生长小尺寸的晶圆(比如说4寸半导体晶圆)来说是合理的，维护起来也很方便。

但对于生长大尺寸的外延片，基于降低晶圆被旋转的石墨盘甩出的风险，晶圆槽底部相对于石墨盘顶部的高度比小尺寸石墨盘大一些。

这种设计导致了生长大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出现了以下几个问题：

1)由于石墨盘与晶圆接触区域较多，在生长厚膜外延片时，沉积的外延层会增加石墨盘与半导体晶圆的粘接，使得生长完成后将外延片从石墨盘中无损伤取出较为困难，甚至可能导致裂片；

2)因晶圆边缘处较高的台阶使得该区域存在气体湍流，容易滞留较多的生长气体，从而使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差；

3)因外延炉一般采用射频感应加热，热量传递的方向是沿着石墨盘径向从边缘到中心，使得石墨盘边缘的温度高于中心区域的温度，这在大尺寸外延生长中尤为突出。

其他回答

王药师药业

用途主要是能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质，同时用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封。

石墨盘主要是由各种增强纤维、金属丝（钢丝、铜丝、镍丝、碳纤维，预氧丝、玻璃纱）等增强的石墨线为原料精工编织而得。适用于高温高压条件下的动密封。它能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质，主要用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封 。它也是独特的万用密封盘。

其他回答

王药师药业

石墨盘根可以用做防腐密封,石棉盘根防腐密封适用于酸碱、阀门、泵、活、液氨、水、油品介质、塞。

石墨盘根也可以用于泵、反应釜、高温、高压、耐腐蚀介质下阀门的密封.