四探针测电阻的接法

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精选答案

四探针法是测量扩散层薄层电阻的最通常的方法。用四个等距的金属探针接触硅表面，外边的两令探针通直流电流I，中间两个探针之间的电压降V由电位差计测量。

由所测得的电流I和电压V，利用关于样品和探针几何结构的适当校正因子，可以直接换算成薄层电阻。