低露点洁净室指多少湿度

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精选答案

露点（Td）是指露水或冷凝水在冷却气体上形成时的温度。露点温度用于描述气体（例如空气）中非常微小的水分含量。半导体在微机械加工过程中，由于水分子被认为是污染物，因此其加工环境极其干燥。在这种情况下，相对湿度几乎保持在0%RH，但是露点温度对于被测气体的水分含量变化而言仍然非常敏感。